B.主要手艺指标：

1.丈量原理：笔直偏向：触针法，，，，，电感传感器；；；；；；；
水平偏向：光栅传感器；；；；；；；
2.丈量规模：笔直400μm，，，，，水平100mm；；；；；；；
3.外貌粗糙度Ra示值误差：≤±5%；；；；；；；
轮廓度示值误差：笔直≤0.25%，，，，，水平≤0.004%；；；；；；；
4.最小区分力：笔直0.6 nm，，，，，水平1μm；；；；；；；
5.取样长度：0.08，，，，，0.25，，，，，0.8，，，，，2.5，，，，，8mm；；；；；；；
6. 评定长度：N倍取样长度，，，，，N=1，，，，，2，，，，，3，，，，，4，，，，，5；；；；；；；
7. 数字滤波器：高斯、2RC、PC、不滤波；；；；；；；
8.粗糙度丈量参数：Ra，，，，，Rc，，，，，Rp，，，，，Rv，，，，，Rz，，，，，Rq，，，，，Rsm，，，，，Rt，，，，，Rsk，，，，，Rku，，，，，Rdq，，，，，Rmr；；；；；；；
波纹度丈量参数：Wa，，，，，Wc，，，，，Wp，，，，，Wv，，，，，Wz，，，，，Wq，，，，，Wsm，，，，，Wt，，，，，Wsk，，，，，Wku，，，，，Wdq，，，，，Wmr；；；；；；；
原始轮廓丈量参数：Pa，，，，，Pc，，，，，Pp，，，，，Pv，，，，，Pz，，，，，Pq，，，，，Psm，，，，，Pt，，，，，Psk，，，，，Pku，，，，，Pdq，，，，，Pmr；；；；；；；
直线度丈量系统丈量参数：|X2-X1|，，，，，|Y2-Y1|；；；；；；；
9.轮廓图形的笔直放大倍率：最大100000倍无级一连放大；；；；；；；
轮廓图形的水平放大倍率：最大50000倍无级一连放大；；；；；；；
10.驱动箱滑行长度：100mm；；；；；；；
11.驱动速率：0.1，，，，，0.2，，，，，0.5，，，，，0.8，，，，，1.0mm/s；；；；；；；
返回速率：1.5mm/s；；；；；；；
12.传感器返回形式：手动，，，，，自动；；；；；；；
13.基准导轨的直线性：1μm/100mm；；；；；；；
14.传感器测针：金刚石圆锥，，，，，锥角90°，，，，，针尖半径2μm；；；；；；；
15.立柱结构：快慢速无邪升降系统，，，，，自动瞄准零位；；；；；；；
16.立柱笔直丈量高度：290mm；；；；；；；
17.事情底台：460mm×720mm大理石平台；；；；；；；

C.仪器的组成：

D.仪器的形状尺寸与重量：

• 仪器净重：260kg；；；；；；；
• 仪器毛重：360kg；；；；；；；
• 仪器形状尺寸：1620mm×460mm×740mm；；；；；；；
• 包装形状尺寸：1590mm×1150mm×1065mm；；；；；；；